微硅粉的历史相对较短,1952年第一次有记录的微硅粉在波特兰水泥中的实验. 直到上世纪七十年代,含有微硅粉的混凝土的应用还非常有限。当时可供实险用的微硅粉太少,阻碍了人们进一步发掘微硅粉的使用潜力及独特属性。早期的研究是使用一种叫“白炭黑”的昂贵添加剂,它是在氢氧炉中燃烧四氯化硅而得到的胶状的二氧化硅。而微硅粉则是一种副产品,粒径非常细小的火山灰材料,产自于电弧炉生产金属硅或硅铁合金过程中的结晶二氧化硅。在上世纪六十年代晚期以前的欧洲,以及七十年代中期以前的美国,微硅粉都是作为烟尘排放到空气中。(现在有好多工厂把微硅粉称为“除尘灰”)