微硅粉的历史相对较短，1952年第一次有记录的微硅粉在波特兰水泥中的实验. 直到上世纪七十年代，含有微硅粉的混凝土的应用还非常有限。当时可供实险用的微硅粉太少，阻碍了人们进一步发掘微硅粉的使用潜力及独特属性。早期的研究是使用一种叫“白炭黑”的昂贵添加剂，它是在氢氧炉中燃烧四氯化硅而得到的胶状的二氧化硅。而微硅粉则是一种副产品，粒径非常细小的火山灰材料，产自于电弧炉生产金属硅或硅铁合金过程中的结晶二氧化硅。在上世纪六十年代晚期以前的欧洲，以及七十年代中期以前的美国，微硅粉都是作为烟尘排放到空气中。（现在有好多工厂把微硅粉称为“除尘灰”）

随着七十年代中期更加严苛的环保法律的施行，金属硅冶炼厂开始捕集微硅粉，而不是简单地作为垃圾填埋。自此，开发微硅粉用途的压力才真正显现。早期挪威的发现引起了人们的注意，他们的研究显示含微硅粉的混凝土有非常高的强度和低孔隙。这成为微硅粉最早、使用量最大的用途之一。数十年来，微硅粉的使用不断发展，它已成为世界上最有价值及功能多样的水泥及混凝土添加剂。在其它领域也继续拓展，广泛应用于数十个领域，而且还在不断增加。